河北潔凈車間消除了一定空間內空氣中的顆粒,有害空氣,細菌和其他污染物,并根據一定的需求控制室內溫度,清潔度,壓力,空氣流速和空氣分布,噪聲,振動,照明和靜電 范圍內的工程學科。 潔凈室經過特殊設計的房間能夠保持原始設定要求的潔凈度,溫度,濕度和壓力,而不受外部空氣條件的變化的影響。 這比使用湍流來描述湍流潔凈室更為準確和全面。 湍流主要由雷諾數決定,潔凈室也主要受流速影響。 但是,如果使用高效的過濾器頂送空氣供應形式,則即使流速極低,也將產生上述結果。 這是因為它是突然流動和不均勻流動。 因此,在這種情況下,不僅由于湍流引起流體層之間的混合,而且由于整個室內的大的回流和渦旋而引起的混合。
特定過程的溫度要求將在后面列出。 潔凈室,但作為一般原則,隨著加工精度的提高,對溫度波動范圍的要求越來越小。 例如,在大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中,要求玻璃和作為掩模材料的硅晶片的熱膨脹系數之間的差越來越小。 當溫度升高1度時,直徑為100 um的硅晶片將引起0.24 um的線性膨脹。 因此,它必須具有±0.1度的恒定溫度。 同時,通常要求濕度值要低,因為人出汗后,產品將被污染和清潔。 房間尤其是怕鈉的半導體車間,這種車間不應超過25度。