潔凈室的濕度關鍵是依據加工工藝標準來確定的,但在考慮加工工藝規定的標準下,應充分考慮人員的舒適感。隨之空氣潔凈度要求的提升,出現了加工工藝對溫度濕度的規定也愈來愈嚴。總體標準看,因為生產加工精密度愈來愈細致,因此對溫度起伏范疇的規定愈來愈小。比如在大規模集成電路生產的光刻曝光加工工藝中,做為掩膜板原材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差規定愈來愈小。直徑100 um的硅片,溫度升高1度,就造成了0.24um線形澎漲,因此務必有±0.1度的控溫,另外環境濕度值通常較低,由于人流汗之后,對產品將有污染,尤其是怕鈉的半導體材料生產車間,這類車間不宜超出25度。